科林研發（Lam Research）於週二（10 日）推出了一款名為「Dextro」的協作機器人（cobot），專門用於精確且可重複地維護晶圓製造工具。在一般的晶圓製造設備中，有數百種工具需要定期維護，而這些工具的維護精確度對於確保子系統的正確組裝至關重要，因為這直接影響產量。儘管人類的精確度不如機器，但過去這些維護工作仍主要由人工進行。

科林研發（Lam Research）於週二（10 日）推出了一款名為「Dextro」的協作機器人（cobot），專門用於精確且可重複地維護晶圓製造工具。在一般的晶圓製造設備中，有數百種工具需要定期維護，而這些工具的維護精確度對於確保子系統的正確組裝至關重要，因為這直接影響產量。儘管人類的精確度不如機器，但過去這些維護工作仍主要由人工進行。

Dextro 是一款移動機器人裝置，其手臂配備可互換的末端執行器，能夠執行三項關鍵的維護任務。這款協作機器人在安裝耗材元件的精確度上，比手動安裝高出兩倍以上，確保組裝正確，並改善晶圓邊緣的蝕刻效能。此外，Dextro 還能按照精確的規格擰緊高精度真空密封螺栓，將手動錯誤率降低 5%，防止可能中斷生產的溫度偏差。

除了這些功能，Dextro 還能安全地清除腔室壁上堆積的聚合物，這意味著工程師不再需要使用厚重的呼吸防護裝備。然而，Dextro 目前還不能完全取代仍在控制裝置的技術人員。目前，Dextro 與科林研發的 Flex G 和 H 系列介電蝕刻工具相容，該公司計劃在 2025 年前將兼容性擴展至更多工具。

Dextro 現已在全球多個先進的半導體晶圓廠投入使用，確保改善一次成功（first-time-right，FTR），減少維護錯誤。科林研發推出這款協作機器人的目的是以準確性和可重複性執行高精度維護任務，解決工程師人員短缺、現代晶圓製造設備日趨複雜等問題。此外，Dextro 還能減少浪費、耗材及因生產中斷損失的時間，增加工具的正常運作時間。

三星電子副總裁兼記憶體蝕刻技術團隊主管 Young Ju Kim 表示，當製造設備需要維護時，必須快速有效地完成工作，避免設備停機時間延長和成本浪費。Dextro 的無誤維護有助於提高生產變異性和良率。

這款協作機器人的推出，標誌著半導體製造業在自動化維護領域的一大進步，有望進一步提升生產效率和產品質量。